摘要：该文采用等离子体浸没离子注入与沉积结合射频辉光放电技术,以纯石墨棒和钛棒作阴极材料,乙炔为工作气体,选择合理的工艺参数分别在GCr15和9Cr18轴承钢基体表面合成了TiC和类金刚石(DLC)抗磨损薄膜.测试结果表明:表面合成TiC薄膜的GCr15和9Cr18钢试样,其表面显微硬度分别提高了52.3﹪和70.9﹪,表面摩擦系数各自由未经处理前的0.86和0.89下降为处理后的0.1~0.2;表面合成DLC薄膜的9Cr18钢基体试样,其表面显微硬度最大提高了88.7﹪,表面摩擦系数最小由原来的0.89下降为0.07.通过电化学腐蚀实验研究证明,合成薄膜后试样的耐蚀性能亦得到了明显改善.XRD和Raman光谱分析表明,合成薄膜后的基体试样表面存在着大量的硬化相TiC和类金刚石的sp<'3>键,它们是轴承钢表面性能得以显著改善的主要原因.而且,从综合性能的表现上看,合成DLC膜的试样要优于合成TiC膜的试样.另外,通过等离子体浸没离子注入与沉积结合射频辉光放电技术合成的DLC膜,无氢(α-C)膜的抗磨性较含氢(α-C:H)膜的要强得多,而合成薄膜后材料表面的显微硬度正好相反,α-C:H膜的表面硬度要高于α-C膜的表面显微硬度.
简单查了下网上论文DLC涂层是优于TiC涂层的 难道3000的差价就是涂层区别？
回复
